天科合达发布 8 英寸碳化硅衬底新产品,明年导电型将小规模量产


(资料图)

感谢亚汇网网友亚汇网了解到,2021年徐州天科合达生产基地6英寸系列产品产能达全国首位,目前北京大兴总部基地6英寸产能正持续突破。天科合达是国内碳化硅衬底领域龙头企业,一直持续突破更大尺寸、更高质量碳化硅衬底制备的关键核心技术。各项指标公布如下:(1)8英寸碳化硅晶体(直径可达209mm)及晶片外观图(2)拉曼光谱测试数据表明,8英寸碳化硅衬底100%面积为4H晶型(3)XRD三点摇摆曲线数据显示,半高宽小于20arcsec(4)位错缺陷密度测试结果显示,EPD<4000个每平方厘米,TSD<100个每平方厘米,BPD<200个每平方厘米,位错密度整体处于国际领先水平

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